無塵室工程(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。無塵室工程經過過濾器收集塵埃,其過濾的空氣可說十分干凈。它是污染控制的基礎,沒有無塵室,污染靈敏的零件不可能批量生產。無塵室工程的標準:一般普遍依據美國頒布的標準,將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、萬級、十萬級。如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5μm,例如,1級、10級、100級無塵室特別大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5μm,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。
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無塵室工程的構成是由下列各項系統所組成(所組成的系統份子是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室:⑴天花板系統:包括吊桿(Ceiling rod)、鋼梁、天花板格子梁(Ceiling grid)。⑵空調系統:包括空氣艙、過濾器系統、風車等。⑶隔墻板(Partitional wall):包括窗戶、門。⑷地板:包括高架地板或防靜電地板、以及環氧自流平及滾涂地面。⑸照明器具:包括LED日光燈、黃顏色燈管等。⑹無塵室之建筑主體構造:一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,須滿足如下之條件:A、不會因溫度變化與振動而發生裂痕;B、不易產生微塵粒子,且很難附著粒子;C、吸濕性小;D、為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高;
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無塵室工程控管項目:1、能除去空氣中飄游之微無塵室塵粒子。2、能防止微塵粒子之產生。3、溫度和濕度之控制。4、壓力之調節。5、有害氣體之排除。6、結構物與隔間之氣密性。7、靜電之防制。8、電磁干擾預防。9、平安因素之考慮。10、節能之考量。11、照度的的調節;12、浮游菌及沉降菌的控制。
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