潔凈無塵室工程里經常存在大量可以優化節約能源的地方，比如暖氣、通風和空調、工藝制冷、壓縮空氣以及一些其他的設施，其中關于空氣調節是其中重中之重。空氣調節系統，是包含溫度、濕度、空氣清凈度以及空氣循環的控制系統，被稱為HVAC（英語：Heating,Ventilation,Air-conditioning and Cooling）。HVAC系統消耗的電力經常超過了整座集成電子制造廠用電量的一半，之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。

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   無塵室工程要求維持一定的空氣流量來保持清潔度和顆粒數。其流量根據每小時的換氣次數來確定，同時這也決定了風機尺寸、建筑構型和能源消耗。在保持潔凈度的前提條件下，空氣流速的降低可以降低建造及能耗成本。換氣次數降低百分之20就可以使風機的尺寸降低百分之50。空氣潔凈度比節約能耗更重要，但是新近的研究成果表明降低潔凈成本與節約能耗并不矛盾。許多原則都已過時，是建立在老觀念上，采用低效的空氣過濾器。關于推薦的換氣次數變化范圍是90到250，比操作規程標準低很多，而且不會影響生產和潔凈度。因此建議ISO第5級潔凈室的換氣次數大約是200，保守的上限是300。

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   馬達效率：馬達消耗了無塵室工程中的大部分電能。連續運轉的馬達每月消耗大量的電力。適當地提高些效率、適當地調節尺寸，在設備翻新清潔后，經濟效果多半是不錯的。效率增加幾個百分點，利潤就可增加幾十個百分點。使用優異高能效的馬達，不一定會花費太多。高能效率意味著特別小，在改變馬達的尺寸之前先盡量減小負荷。在輸出量變化時，利用變速驅動可以提高操作效率。

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