可根據電子產品生產工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求,電子無塵車間工程分為隧洞式、開發式和微環境等,也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流電子無塵車間工程和混合流潔凈室。
單向流和混合流電子無塵車間工程的噪聲級(空態)不應大于65dB(A),非單向流電子無塵車間工程的噪聲級(空態)不應大于60dB(A)。
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工業電子無塵車間工程垂直單向流潔凈室的空間,應包括活動地板一下的技術夾層,潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。潔凈廠房中,發熱量、發塵量大的生產工序或生產設備,宜與空氣潔凈度要求嚴格的房間分隔布置;
電子無塵車間工程型式的選擇,應綜合生產工藝要求、節約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定,各種空氣潔凈度等級的工業潔凈電子無塵車間工程廠房,宜采用混合流潔凈室,對空氣潔凈度凈度要求嚴格時,宜采用微環境等型式。
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潔凈電子無塵車間工程廠房的送風方式可以分為集中送風、隧洞送風、風機過濾器機組送風等。物料凈化用室與潔凈室(區)之間應設置氣閘室或傳遞窗。
氣流流型應滿足產品生產工藝和空氣潔凈度等級的要求??諝鉂崈舳鹊燃墳?~5級時,應采用單向流或混合流;空氣潔凈度等級為6~9級時,宜采用非單向流;電子無塵車間工程工作區的氣流流速應滿足生產工藝和工作人員健康的要求。
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