風機過濾器單元FFU：英文全稱為Fan Filter Unit，中文術語為風機過濾單元。FFU普及的原因就在于FFU提供了一個相對簡單的方法無塵室裝修解決方案，FFU由一個交流風機、一個控制電器和一個設在箱子中的HEPA/ULPA過濾器組成，提供精細氣流，通常直接安裝在天花板柵格中。把過濾空氣釋放到有高度潔凈度要求的環境中去。
   比起傳統的潔凈無塵車間工程氣流系統來說，它更小、更便于攜帶，FFU的安裝費用低、靈活高，可以集中在潔凈室環境的目標區域內。FFU可以很容易地加入現有的潔凈室內，而無需大量翻新。

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   當用戶的需要和標準改變時，緊湊的FFU系統可以讓我們在潔凈室內對污染控制系統進行升級時，而不需要提高屋頂或者拆毀墻壁。它們也可以很容易地安裝在關鍵設備上，或置于工作臺的上方，這樣可以在制造環境內創造出臨時的、移動式的潔凈室。
   因此FFU被用來大規模的建造潔凈室，通常一個TFT-LCD生產線工廠就將使用上萬臺FFU；雖然FFU比傳統集中式送風凈化系統效率更高，但是即使是這樣小的氣流單元在成千上萬的數量下也消耗了大量的能耗，另外大多數制造廠已處在能耗率過載的狀態下了。由于能源費用的增加和電網超載，降低能耗已經成為潔凈室設備的一個需要優先考慮的問題。

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   提高了現有無塵室工程FFU的效率，無塵室裝修方案采用功率只有交流電機20％的直流無刷風機，解決了交流電機的效率低，轉速固定，風量小，發熱大的不足；在靜壓箱增加導流箱改進氣流吹出均勻性；采用初阻力＜75Pa的無隔板高能效過濾器，此種過濾器有成效過濾面積，相比初阻力125Pa無隔板高能效過濾器有成效面積大，穿過單位面積的風速就低，過濾器的阻力就小，過濾器的初阻力降低，FFU系統的能耗也下降。