光學微電子凈化車間工程亦名光電無塵室潔凈室或光電凈化車間工程,目前已是半導體、精細制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年的技術創新發展,對于產品的精細度化、微小型化之需求更為迫切。如超微型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發展上特別重視的項目。
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對光學微電子凈化車間內空氣的流動形態和分布,進行合理的設計即氣流的流型,應考慮避免或減少渦流,有利于迅速地排除污染物,盡量受限或減少室內污染源散發的塵和菌的擴散,維持室內生產環境所要求的空氣潔凈度等級。
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根據國家相關GB標準文件,行業的不同國標都有強制規范規定。如光學微電子凈化車間工程定為十萬級,一般的微電子企業部分定為萬級或以上,至于這個以上要求,主要根據企業生產的產品和工藝要求,需要達到什么級別。
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1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻、角、門、窗框等一般采用特別氧化鋁型材制造。
2、地面可采用環氧自流坪地坪或高等級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3、送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4、高能效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
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