無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。現在,華業凈化來說說無塵室空氣氣流的特點是什么。
一方面,東莞無塵室工程內的氣流是左右無塵室性能的重要因素,一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間。此氣流速度屬微風區域,易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂。雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高,將影響運轉成本的增加,所以應在滿足要求的潔凈度水準之時,能以適當的風速供應,以達到適當的風速供應以達到經濟性效果。
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另一方面欲達到無塵室潔凈度之穩定效果,均一氣流保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風速有異。特別是在壁面,氣流會延著壁面發生渦流作用,此時要實現高潔凈度事實上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須:
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(1)吹出面的風速不可有速度上的差異;
(2)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現象發生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般無塵室,其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響東莞無塵室工程的氣流因素很多,如制程設備、人員、無塵室組裝材、照明器具等,同時對于生產設備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素。
一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點,應設于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業人員工作時,氣流可從制程區內部流向作業區,而將微塵帶走。若分流點配置在制程區前方,將成為不當的氣流分流,此時大部分的氣流將流至制程區之后,作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。
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無塵室內的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現象發生,相對地在其附近之潔凈度將會較差,在工作桌面鉆上回風孔,將使渦流現象減少很低。組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。
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