萬級無塵車間的潔凈度等級：要求高，風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內極易產生靜電，造成CMOS集成損壞。

       萬級無塵車間參數要求換氣次數：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次；100≥500次.壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa 平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度冬季＞16℃；夏季＜26℃；波動±2℃。溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產生靜電。噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的10％－30％；照度300LX。