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電子凈化工程潔凈室的施工內容是什么?
對微電子產品生產用潔凈室來說,其潔凈室的施工內容(不包括廠房主體結構施工)。
主要有:潔凈室建筑裝飾(含回風地板等)施工,凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝,高純水系統及其管線的安裝,高純氣體的系統(含特種氣體供應等)及其管線的安裝,各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝。
化學品供應系統及其管線的安裝, 各種排風和排氣系統的及其處理設備的安裝,消防安全報警系統及其控制設備的安裝,變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝等。
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