怎樣控制惠州無塵凈化車間工程的溫濕度,你真的了解嗎?凈化車間工程的主要功能是提供一個健康的生活和生產環境,創造一個滿足照明、溫度、濕度、噪音、空氣流量、壓力、靜態和衛生指標如微振動環境,使相關的服務和產品,以滿足人們的健康需求的環境,提供一個良好的空間,環境控制,從而有效地提高產品的合格率,改善和提高服務質量的相關目標。
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惠州凈化車間工程的溫濕度主要根據工藝要求確定,但在滿足工藝要求的條件下,要考慮人的舒適性。隨著空氣清潔度要求的提高,對溫度和濕度的要求越來越嚴格。隨著加工精度的提高,對溫度波動范圍的要求會越來越小。例如,在大規模集成電路產生的光刻曝光過程中,玻璃與硅片作為掩模材料的熱膨脹系數差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值較低,因為人出汗以后,對產品可能有污染,特別是鈉的半導體車間,這種車間不應超過25度。
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高濕度會導致更多的問題。當相對濕度超過55%時,冷卻水管壁暴露。如果它發生在精密設備或電路中,就會引起各種事故。相對濕度往往在50%生銹。此外,當濕度很高時,附著在硅片表面的灰塵會被空氣中的水分子化學地附著在表面,這是很難去除的。相對濕度、粘結力越高,則越難去除,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電顆粒對表面吸附的影響,還容易對大量半導體器件產生擊穿。硅片生產的最佳溫度范圍是35 - 45%。
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